|
|
|
|
|
|
|
¸ñÂ÷ |
|
¸Ó¸®¸»
Chapter01 ¹ÝµµÃ¼°øÁ¤ °³¿ä
1.1 ¿þÀÌÆÛ¿Í Ç±(FOUP)
1.2 ÁýÀûȸ·Î »ý»ê°øÁ¤
1.3 ÁÖ¿ä Àåºñ¾÷ü ¼Ò°³
Chapter02 ¿þÀÌÆÛ Á¦Á¶¿Í CMP
2.1 ¹ÝµµÃ¼ °³¿ä
2.2 ½Ç¸®ÄÜ À×°÷ »ý»ê
2.3 ´Ü°áÁ¤ À×°÷ÀÇ ÈÄ°¡°ø
2.4 ÈÇÐ-±â°èÀû ¿¬¸¶(CMP)
2.5 ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸éó¸®¿Í ¼¼Á¤
Chapter03 ±¼Àý½Ä Æ÷Å丶½ºÅ©
3.1 Æ÷Å丶½ºÅ© °³¿ä
3.2 ¸¶½ºÅ© Á¦Á¶°øÁ¤
3.3 Àü°øÁ¤
3.4 ¸¶½ºÅ©°Ë»ç
3.5 ¸¶½ºÅ© ¼ö¸®
3.6 ¸¶½ºÅ© ÃøÁ¤
3.7 Æ縮Ŭ
3.8 SMIF Æ÷µå
3.9 ¸¶½ºÅ©¼ó
3.10 Æ÷Å丶½ºÅ© ½ÃÀåÇöȲ°ú ¸ÞÀÌÀú Á¦Á¶¾÷üµé
Chapter04 ±¼Àý½Ä ³ë±¤Àåºñ
4.1 ³ë±¤±â¼úÀÇ ¿ª»ç
4.2 ±¤ÇÐ½Ä ³ë±¤±â¼ú
4.3 ¿þÀÌÆÛ ½ºÄ³³Ê
4.4 ¿þÀÌÆÛ ½ºÄ³³ÊÀÇ À§Ä¡ÃøÁ¤
4.5 ¿þÀÌÆÛ ½ºÅ×ÀÌÁöÀÇ ¿îµ¿Á¦¾î
Chapter05 ¹Ý»ç½Ä Æ÷Å丶½ºÅ©
5.1 ¼¾ð
5.2 ±ØÀڿܼ± Æ÷Å丶½ºÅ©ÀÇ ¿ä±¸Á¶°Ç
5.3 ´ÙÁßÃþ
5.4 Ç¥¸éÃþ
5.5 Æ÷Å丶½ºÅ© ÆÐÅÍ´×
5.6 ÃøÁ¤
5.7 ¸¶½ºÅ© ¼ö¸®
5.8 ¸¶½ºÅ© ¼¼Ã´
5.9 Æ縮Ŭ°ú ¸¶½ºÅ©È£
Chapter06 ±ØÀڿܼ± ³ë±¤Àåºñ
6.1 ¼¾ð
6.2 ±ØÀڿܼ±¿ë Çö󽺸¶ ±¤¿ø
6.3 ¹Ý»ç±¤Çаè
6.4 »ó¿ë ±ØÀڿܼ± ³ë±¤±â
6.5 ±ØÀڿܼ±¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®
6.6 ±ØÀڿܼ±³ë±¤ ±â¼ú°³¹ß ·Îµå¸Ê
Chapter07 Æ÷Åä°øÁ¤°ú Àåºñ
7.1 ¼¾ð
7.2 Æ÷Åä°øÁ¤
7.3 Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®
7.4 º£ÀÌÅ©
7.5 Çö»ó
7.6 Æ÷ÅäÀåºñÀÇ ±¸Á¶
7.7 »ó¿ëÀåºñ
Chapter08 ½Ä°¢°øÁ¤°ú Àåºñ
8.1 ¼·Ð
8.2 ½À½Ä½Ä°¢
8.3 °Ç½Ä½Ä°¢
8.4 Çö󽺸¶ ½Ä°¢Àåºñ
8.5 ¼³°è»ç·Ê °íÂû
Chapter09 ¿þÀÌÆÛ ¼¼Á¤
9.1 ¼·Ð
9.2 ½À½Ä ¼¼Á¤±â¼ú
9.3 ½À½Ä ¼¼Á¤Àåºñ
9.4 ¿þÀÌÆÛ Çó±À°ú °ÇÁ¶
9.5 Áõ±â ¼¼Á¤
9.6 Çö󽺸¶ ¹Ú¸®¿Í ¼¼Á¤
9.7 ±ØÀú¿Â/ÃÊÀÓ°è ¼¼Á¤±â¼ú
Chapter10 ÀûÃþ°øÁ¤
10.1 ¼·Ð
10.2 ½Ç¸®ÄÜ °üÅëÀü±Ø(TSV)
10.3 ¿þÀÌÆÛ ¹Ú¸·°¡°ø
10.4 ÈÇÐ-±â°èÀû ¿¬¸¶
10.5 À¯¸® ij¸®¾î Á¢Âø°ú Å»Âø
10.6 ÀûÃþÁ¢ÇÕ
Chapter11 ¿þÀÌÆÛ·¹º§ ÆÐÅ°Áö
11.1 ¼·Ð
11.2 ¿þÀÌÆÛ·¹º§ ÆÐÅ°Áö
11.3 ¿þÀÌÆÛ·¹º§ ÆÐÅ°ÁöÀÇ Á¶¸³
11.4 ÆҾƿô ÆÐÅ°Áö
11.5 Æгη¹º§ ÆÐŰ¡
Chapter12 ÆÕ(FAB) ¹°·ù
12.1 ¼¾ð
12.2 ¼öÆò¹°·ù
12.3 ¼öÁ÷¹°·ù
12.4 ¹°·ùº¸°ü ½Ã½ºÅÛ
Chapter13 ÆÕ(FAB) ÀÎÇÁ¶ó
13.1 ¾ÐÃà°ø±â
13.2 Áø°ø
13.3 Å»À̿¼ö
13.4 ±âü°ø±Þ ÀÎÇÁ¶ó
13.5 Ŭ¸°·ë °ø±â
Ä÷¯ µµÆÇ
¾à¾î
ã¾Æº¸±â |
|
|
|
ÀúÀÚ
|
|
ÀåÀιè
°¿ø´ëÇб³ ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º°øÇÐÀü°øÀÇ ±³¼ö·Î, Çкο¡¼ Àü±âÀüÀÚȸ·Î½ÇÇè, ÀûÀÀÇü ¿ä¼Ò, ¹ÝµµÃ¼ÀåºñÀÇ ÀÌÇØ, °í¼º´É ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º¼³°è µîÀ» °ÀÇÇϸç, ´ëÇпø¿¡¼´Â Á¤¹Ð±â°è¼³°è¿Í ½º¸¶Æ® ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½º¸¦ °¡¸£Ä¡°í ÀÖ´Ù. ±×´Â ¡¸Àü±âÀüÀÚ È¸·Î½ÇÇ衹, ¡¸Ç¥ÁØ ±â°è¼³°èÇС¹, ¡¸Á¤¹Ð±â°è¼³°è¡¹¸¦ Àú¼úÇÏ¿´À¸¸ç, ¡¸°í¼º´É ¸ÞÄ«Æ®·Î´Ð½ºÀÇ ¼³°è¡¹, ¡¸±¤Çбⱸ ¼³°è¡¹, ¡¸CMP ¿þÀÌÆÛ ¿¬¸¶¡¹ µî ´Ù¼öÀÇ ¼ÀûµéÀ» ¹ø¿ªÇÏ¿´´Ù.
|
|
|
|
|
|
|
|
Ãâ°í¾È³» |
|
|
Ãâ°í¶õ ÀÎÅÍÆÄÅ© ¹°·ùâ°í¿¡¼ µµ¼°¡ Æ÷ÀåµÇ¾î ³ª°¡´Â ½ÃÁ¡À» ¸»Çϸç, ½ÇÁ¦ °í°´´Ô²²¼ ¼ö·ÉÇϽô ½Ã°£Àº »óÇ°Áغñ¿Ï·áÇØ Ãâ°íÇÑ ³¯Â¥ + Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÔ´Ï´Ù. |
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼´Â ¸ðµç »óÇ°ÀÇ Àç°í°¡ ÃæÁ·ÇÒ ½Ã¿¡ ÀÏ°ý Ãâ°í¸¦ ÇÕ´Ï´Ù. |
|
ÀϺΠÀç°í¿¡ ´ëÇÑ Ãâ°í°¡ ÇÊ¿äÇÒ ½Ã¿¡´Â ´ã´çÀÚ¿¡°Ô Á÷Á¢ ¿¬¶ôÇϽðųª, °í°´¼¾ÅÍ(°í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ôÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
¹è¼Ûºñ ¾È³» |
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ© µµ¼ ´ë·®±¸¸Å´Â ¹è¼Û·á°¡ ¹«·áÀÔ´Ï´Ù. |
|
´Ü, 1°³ÀÇ »óÇ°À» ´Ù¼öÀÇ ¹è¼ÛÁö·Î ÀÏ°ý ¹ß¼Û½Ã¿¡´Â 1°³ÀÇ ¹è¼ÛÁö´ç 2,000¿øÀÇ ¹è¼Ûºñ°¡ ºÎ°úµË´Ï´Ù. |
¾Ë¾ÆµÎ¼¼¿ä! |
|
|
°í°´´Ô²²¼ ÁÖ¹®ÇϽŠµµ¼¶óµµ µµ¸Å»ó ¹× ÃâÆÇ»ç »çÁ¤¿¡ µû¶ó Ç°Àý/ÀýÆÇ µîÀÇ »çÀ¯·Î Ãë¼ÒµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
Åùè»ç ¹è¼ÛÀÏÀÎ ¼¿ï ¹× ¼öµµ±ÇÀº 1~2ÀÏ, Áö¹æÀº 2~3ÀÏ, µµ¼, »ê°£, ±ººÎ´ë´Â 3ÀÏ ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
(´Ü, Åä/ÀÏ¿äÀÏ Á¦¿Ü) |
|
|
|
|
ÀÎÅÍÆÄÅ©µµ¼´Â °í°´´ÔÀÇ ´Ü¼ø º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯°ú ¹ÝÇ°¿¡ µå´Â ºñ¿ëÀº °í°´´ÔÀÌ ÁöºÒÄÉ µË´Ï´Ù.
´Ü, »óÇ°À̳ª ¼ºñ½º ÀÚüÀÇ ÇÏÀÚ·Î ÀÎÇÑ ±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°Àº ¹«·á·Î ¹ÝÇ° µË´Ï´Ù.
±³È¯/¹ÝÇ°/º¸ÁõÁ¶°Ç ¹× Ç°Áúº¸Áõ ±âÁØÀº ¼ÒºñÀڱ⺻¹ý¿¡ µû¸¥ ¼ÒºñÀÚ ºÐÀï ÇØ°á ±âÁØ¿¡ µû¶ó ÇÇÇظ¦ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Á¤È®ÇÑ È¯ºÒ ¹æ¹ý ¹× ȯºÒÀÌ Áö¿¬µÉ °æ¿ì 1:1¹®ÀÇ °Ô½ÃÆÇ ¶Ç´Â °í°´¼¾ÅÍ(1577-2555)·Î ¿¬¶ô Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.
¼ÒºñÀÚ ÇÇÇغ¸»óÀÇ ºÐÀïó¸® µî¿¡ °üÇÑ »çÇ×Àº ¼ÒºñÀÚºÐÀïÇØ°á±âÁØ(°øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ °í½Ã)¿¡ µû¶ó ºñÇØ º¸»ó ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ °¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
»óÇ°À» °ø±Þ ¹ÞÀ¸½Å ³¯·ÎºÎÅÍ 7ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
°ø±Þ¹ÞÀ¸½Å »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀÌ Ç¥½Ã, ±¤°í ³»¿ë°ú ´Ù¸£°Å³ª ´Ù¸£°Ô ÀÌÇàµÈ °æ¿ì¿¡´Â °ø±Þ¹ÞÀº ³¯·ÎºÎÅÍ 3°³¿ùÀ̳», ±×»ç½ÇÀ» ¾Ë°Ô µÈ ³¯ ¶Ç´Â ¾Ë ¼ö ÀÖ¾ú´ø ³¯·ÎºÎÅÍ 30ÀÏÀ̳» °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
»óÇ°¿¡ ¾Æ¹«·± ÇÏÀÚ°¡ ¾ø´Â °æ¿ì ¼ÒºñÀÚÀÇ °í°´º¯½É¿¡ ÀÇÇÑ ±³È¯Àº »óÇ°ÀÇ Æ÷Àå»óÅ µîÀÌ ÀüÇô ¼Õ»óµÇÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ ÇÑÇÏ¿© °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
|
|
|
|
±³È¯ ¹× ¹ÝÇ°ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÑ °æ¿ì |
|
|
|
°í°´´ÔÀÇ Ã¥ÀÓ ÀÖ´Â »çÀ¯·Î »óÇ° µîÀÌ ¸ê½Ç ¶Ç´Â ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. (´Ü, »óÇ°ÀÇ ³»¿ëÀ» È®ÀÎÇϱâ À§ÇÏ¿© Æ÷Àå µîÀ» ÈѼÕÇÑ °æ¿ì´Â Á¦¿Ü) |
|
½Ã°£ÀÌ Áö³²¿¡ µû¶ó ÀçÆǸŰ¡ °ï¶õÇÒ Á¤µµ·Î ¹°Ç°ÀÇ °¡Ä¡°¡ ¶³¾îÁø °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
Æ÷Àå °³ºÀµÇ¾î »óÇ° °¡Ä¡°¡ ÈÑ¼ÕµÈ °æ¿ì´Â ºÒ°¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. |
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ¹ÝÇ° ȯºÒ |
|
|
|
´Ù¹è¼ÛÁöÀÇ °æ¿ì ´Ù¸¥ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°À» µ¿½Ã¿¡ ÁøÇàÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. |
|
1°³ Áö¿ªÀÇ ¹ÝÇ°ÀÌ ¿Ï·áµÈ ÈÄ ´Ù¸¥ Áö¿ª ¹ÝÇ°À» ÁøÇàÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ÀÌÁ¡ ¾çÇØÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|